ASML

De halfgeleiderindustrie wordt gedreven door betaalbare schaalvergroting, mogelijk gemaakt door ASML’s holistische lithografieproductportfolio

Microchips worden gemaakt door complexe patronen van transistors laag voor laag op te bouwen op een siliciumwafel. De lithografiesystemen van ASML staan centraal in dat proces.
Een lithografiesysteem (formeel bekend als ‘fotolithografie’) is in wezen een projectiesysteem. Licht wordt geprojecteerd door een blauwdruk van het patroon dat wordt afgedrukt (ook wel een ‘masker’ of ‘reticule’ genoemd).

Terwijl het patroon in het licht wordt gecodeerd, krimpt de optiek van het systeem en focust het patroon op een lichtgevoelige siliciumwafel. Nadat het patroon is afgedrukt, verplaatst het systeem de wafer enigszins en maakt een nieuwe kopie op de wafer.