Brandevoortse Dreef 4 5707 DG Helmond Niederlande
Die Halbleiterindustrie wird durch erschwingliche Skalierung vorangetrieben. Möglich macht dies ASMLs ganzheitliches Lithografie-Produktportfolio.
Mikrochips entstehen, indem komplexe Transistormuster Schicht für Schicht auf einem Siliziumwafer aufgebaut werden. Die Lithografiesysteme von ASML spielen dabei eine zentrale Rolle.
Ein Lithografiesystem, auch „Fotolithografie“ genannt, ist im Wesentlichen ein Projektionssystem. Licht wird durch eine Vorlage des zu druckenden Musters projiziert. Diese wird auch „Maske“ oder „Retikel“ genannt.
Während das Muster in das Licht codiert wird, verkleinert die Optik des Systems das Muster und fokussiert es auf einen lichtempfindlichen Siliziumwafer. Nach dem Belichten bewegt das System den Wafer leicht und erstellt eine neue Kopie auf dem Wafer.
